Lasertracker
Handling ohne Einlernen
Asys Automatic Systems entwickelt Handlingsysteme für die Halbleiterindustrie und die Mikrostrukturtechnik. Diese für Vakuum- und Reinstraumanwendungen konzipierten Roboter werden bei Asys entweder als Stand alone- oder als komplettes Bereitstellungssystem einschließlich der dafür notwendigen Vakuumkammern angeboten. Ziel von Asys ist es, Handlingsysteme zu liefern, deren Einrichtzeit beim Kunden sich auf die reine Montage beschränkt und kein Einteachen vor Ort erfordert. Vor diesem Hintergrund wurde entschieden, auf die Messfähigkeiten von Lasertrackern zu setzen, und die mit ihnen gewonnenen Ergebnisse der stationären und dynamischen Messungen auf den Betrieb im Hochvakuum und bei spezifizierter Reinheit umzusetzen. Damit werden zwei Berechnungsreihen erforderlich, zum einen eine Messreihe in Atmosphäre (ohne Vakuum); daraus ließen sich diejenigen Transformationsgleichungen bestimmen, die ein Umrechnen der Messergebnisse ins Vakuum ermöglichten. Ohne Tracker wäre man auf 3D-Messmaschinen angewiesen und hatte darüber hinaus aufwändige Triangulationen nutzen müssen. Den Durchbruch brachte der Einsatz von Lasertrackern, mit deren Hilfe es erstmalig möglich wurde, 200 räumliche Messpunkte zu qualifizieren. Diese Eintragungen bilden den Kern der umfangreichen Qualitätsreports bei Asys, die das räumliche 3D-Verhalten der Roboter statisch und dynamisch beschreiben. Hier geht es um Profile, die aufgenommen werden und die gemessenen Abweichungen von Bahnen in Folge von Reibungen und Elastizität beschreiben. Ein Lasertracker wiederum kann außerhalb der nichtlinearen Bewegungsbereiche des Roboters aufgebaut werden - nämlich in zwei Metern Höhe oberhalb des sich bewegenden Endeffektors des Roboters, der für den Transport der Wafer zuständig ist und dessen Lage und Winkel gemessen werden müssen. Bei Asys kommen Lasertracker von API zum Einsatz, die klein, leicht und portabel sind; in einem 90-Grad-Winkel gegenüber der Senkrechten waagrecht oberhalb des Handlingsystems an einer Vorrichtung an der Decke montiert, verfolgen sie die Bewegungen des Roboters und führen dabei dynamische Messungen durch. bw
Das könnte Sie auch interessieren
Griff in den Baukasten
Besucher des Montech-Standes sehen kundenspezifische Lösungen, die mit Förderbändern und Automationskomponenten realisiert sind. So präsentiert der Schweizer Fördertechnikspezialist unter anderem eine Anwendung mit seinem Längstransfersystem in...
mehr...Hochauflösende Kamera und Bügelmesschraube
Digitalisierte Messtechnik
Die Control steht für den Werkzeug-Dienstleister und Systemlieferanten Hahn+Kolb im Zeichen der digitalen Mess- und Prüftechnik. Zu den Highlights zählt eine hochauflösende 10-Megapixel-Kamera, die Bilder an Kleinlast-Härteprüfgeräte liefert sowie...
mehr...Induktive Distanzsensoren von Baumer
Für berührungsloses Messen kleiner Durchbiegungen
Mit seinen IR12 und IR18 High-Sensitivity-Sensoren aus der Alphaprox-Familie bietet Baumer die ersten teachbaren Standard-Induktivsensoren zur Messung kleinster Positionsänderungen wie beispielsweise Durchbiegungen bei Metallträgern an.
mehr...Smarter Laser-Sensor von Micro-Epsilon
Der Kleinste für präzise Messungen
Der Laser-Triangulations-Wegsensor optoNCDT 1420 von Micro-Epsilon ist jetzt auch mit 500 Millimeter Messbereich erhältlich. Damit ist er der kleinste Laser-Sensor auf dem Markt, der einen derartigen Messbereich bei gleichzeitig hoher...
mehr...Monitoring entlang des Produktlebenszyklus
Die Fraunhofer-Allianz Vision präsentiert auf der Control 2017 eine Auswahl aktueller Mess- und Prüfsysteme mit Bildverarbeitung für die Qualitätssicherung in der Produktion. Der Themenschwerpunkt ist Monitoring entlang des Produktlebenszyklus mit...
mehr...Neue Software für den Smart Tester
Die zweite Version der Software des Universal-Prüfstands Smart Tester von Inotec AP macht die Erstellung von Prüfabläufen komfortabler. Sie bietet eine verbesserte Motorsteuerung und neue Darstellungsoptionen für die Prozessauswertung sowie ein...
mehr...Längenmesstechnik im Premiumbereich
Solutions 4 future ist Mitutoyo-Motto für die Control vom 9. bis 12. Mai 2017 in Stuttgart. Der Anbieter von Präzisions-Längenmesstechnik zeigt neben High-End-Bildverarbeitungsmesssystemen sowie Form- und Oberflächenrauheitsmessgeräten auch...
mehr...Effiziente Qualitätssicherung 4.0
Die Control braucht mehr Platz
Mehr Aussteller als je zuvor, ein Zuwachs an Ausstellungsfläche um zehn Prozent, ein neues Hallen-Layout, verbesserte Infrastruktur, und ein abgerundetes Rahmenprogramm, das sind die Eckpunkte der Control – Internationale Fachmesse für...
mehr...Alle Abläufe betrachten
Erst durch die ganzheitliche Betrachtung von Qualität und Produktion wird eine Rundumsicht ermöglicht, die Abhängigkeiten der Prozesse zueinander transparent macht und bekannte Fehler vermeidet.
mehr...