Lasertracker

Handling ohne Einlernen

Asys Automatic Systems entwickelt Handlingsysteme für die Halbleiterindustrie und die Mikrostrukturtechnik. Diese für Vakuum- und Reinstraumanwendungen konzipierten Roboter werden bei Asys entweder als Stand alone- oder als komplettes Bereitstellungssystem einschließlich der dafür notwendigen Vakuumkammern angeboten. Ziel von Asys ist es, Handlingsysteme zu liefern, deren Einrichtzeit beim Kunden sich auf die reine Montage beschränkt und kein Einteachen vor Ort erfordert. Vor diesem Hintergrund wurde entschieden, auf die Messfähigkeiten von Lasertrackern zu setzen, und die mit ihnen gewonnenen Ergebnisse der stationären und dynamischen Messungen auf den Betrieb im Hochvakuum und bei spezifizierter Reinheit umzusetzen. Damit werden zwei Berechnungsreihen erforderlich, zum einen eine Messreihe in Atmosphäre (ohne Vakuum); daraus ließen sich diejenigen Transformationsgleichungen bestimmen, die ein Umrechnen der Messergebnisse ins Vakuum ermöglichten. Ohne Tracker wäre man auf 3D-Messmaschinen angewiesen und hatte darüber hinaus aufwändige Triangulationen nutzen müssen. Den Durchbruch brachte der Einsatz von Lasertrackern, mit deren Hilfe es erstmalig möglich wurde, 200 räumliche Messpunkte zu qualifizieren. Diese Eintragungen bilden den Kern der umfangreichen Qualitätsreports bei Asys, die das räumliche 3D-Verhalten der Roboter statisch und dynamisch beschreiben. Hier geht es um Profile, die aufgenommen werden und die gemessenen Abweichungen von Bahnen in Folge von Reibungen und Elastizität beschreiben. Ein Lasertracker wiederum kann außerhalb der nichtlinearen Bewegungsbereiche des Roboters aufgebaut werden - nämlich in zwei Metern Höhe oberhalb des sich bewegenden Endeffektors des Roboters, der für den Transport der Wafer zuständig ist und dessen Lage und Winkel gemessen werden müssen. Bei Asys kommen Lasertracker von API zum Einsatz, die klein, leicht und portabel sind; in einem 90-Grad-Winkel gegenüber der Senkrechten waagrecht oberhalb des Handlingsystems an einer Vorrichtung an der Decke montiert, verfolgen sie die Bewegungen des Roboters und führen dabei dynamische Messungen durch.  bw

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