Robotertechnik/Reinraumanwendungen

Ohne Luft und ganz sauber

In Reinräumen der Halbleiterindustrie müssen Roboter- und Handlingsysteme spezielle Anforderungen erfüllen. Hirata Robotics hat für diesen Bereich seine Reinraumroboter-Serie AR-W um vier Robotermodelle erweitert. Sie gibt es mit einem oder zwei Armen. Man kann sie im Hoch- oder Niedrigvakuum betreiben. Die Vakuumwiederstandsfähigkeit liegt bei 10-6 beziehungsweise 10-1 Pascal. Die Roboter haben kleine Fußdurchmesser und benötigen wenig Platz beim Einbau. Die Modelle sind für die Handhabung von zwei bis zwölf Zoll großen Waferscheiben konzipiert. Das Niedrigvakuum-Modell AR170VLCL für die Reinraumklasse 2 hat bei einem Arbeitsbereich von 608 Millimeter eine Gesamtmasse von 47 Kilogramm. Die Handhabungsmasse liegt bei 800 Gramm. Alle Roboter werden komplett mit der entsprechenden Steuerung geliefert. Für das Handling vor der Bearbeitungsmaschine bieten die Mainzer weiteres Zubehör an. Ferner gibt es Hochvakuum-Modelle die die Anforderungen der Reinraumklasse 1 erfüllen. ma

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