Robotertechnik/Reinraumanwendungen

Ohne Luft und ganz sauber

In Reinräumen der Halbleiterindustrie müssen Roboter- und Handlingsysteme spezielle Anforderungen erfüllen. Hirata Robotics hat für diesen Bereich seine Reinraumroboter-Serie AR-W um vier Robotermodelle erweitert. Sie gibt es mit einem oder zwei Armen. Man kann sie im Hoch- oder Niedrigvakuum betreiben. Die Vakuumwiederstandsfähigkeit liegt bei 10-6 beziehungsweise 10-1 Pascal. Die Roboter haben kleine Fußdurchmesser und benötigen wenig Platz beim Einbau. Die Modelle sind für die Handhabung von zwei bis zwölf Zoll großen Waferscheiben konzipiert. Das Niedrigvakuum-Modell AR170VLCL für die Reinraumklasse 2 hat bei einem Arbeitsbereich von 608 Millimeter eine Gesamtmasse von 47 Kilogramm. Die Handhabungsmasse liegt bei 800 Gramm. Alle Roboter werden komplett mit der entsprechenden Steuerung geliefert. Für das Handling vor der Bearbeitungsmaschine bieten die Mainzer weiteres Zubehör an. Ferner gibt es Hochvakuum-Modelle die die Anforderungen der Reinraumklasse 1 erfüllen. ma

Anzeige
Anzeige

Das könnte Sie auch interessieren

Anzeige

Reinigungsroboter

Reinigt von allein

Auf der Motek präsentiert Schöler Fördertechnik einen Teil des Produktportfolios an Automatisierungslösungen. Dazu gehört der Linde L-Matic AC, ein autonomer Hochhubwagen, der Transportaufgaben selbständig übernimmt.

mehr...
Anzeige
Anzeige

Highlight der Woche

Trays oder KLTs direkt vom Bodenroller palettieren

Das Palettiersystem der SAST-Serie von Hirata ist besonders kompakt und benötigt nur eine geringe Standfläche. Es palettiert und depalettiert Trays oder KLTs direkt von handelsüblichen Bodenrollern.

Zum Highlight der Woche...
Anzeige

Highlight der Woche

Läger optimal planen
Die Planung staplerbedienter Palettenläger stellt eine große Herausforderung dar, gilt es doch, den Zielkonflikt aus Lagergröße bzw. Stellplatzanzahl, Umschlagleistung und Investitionsaufwand bestmöglich aufzulösen. Das Kompetenzzentrum Fabrikplanung der Hinterschwepfinger Gruppe unterstützt mittelständische Unternehmen bei der idealen Auslegung von staplerbedienten Lägern und Logistikzentren.

Zum Highlight der Woche...

Mensch-Roboter-Kooperation

Cobots helfen

Auf der FachPack präsentiert die Project Unternehmensgruppe erstmals einen Roboter von Kassow Robots in Aktion. Es handelt sich um eine flexibel einsetzbare Cobot-Anwendung zum Banderolieren von Produkten mit einem Prosmart-Banderolier-System.

mehr...

Cobots

Sawyer packt ein

Cobots in der Verpackungsindustrie. Logistikdienstleister und Unternehmen aus dem Copacking müssen flexibel auf Produktionsschwankungen, erhöhte Nachfrage oder individuelle Kundenwünsche reagieren.

mehr...