Halbleiterfertigung

Mobil für Chips

Kleine, smarte Computerchips, sogenannte Halbleiter, finden sich im Alltag mittlerweile überall. Bei der Halbleiterfertigung wird das chemische Element Silizium in Form von Wafern bearbeitet. Die Wafer werden bei der Fertigung unter Reinraumbedingungen in speziellen Kunststoffkassetten gelagert und verarbeitet.

Kuka hat eine Lösung aus einer Hand entwickelt, die Halbleiter-Kassetten automatisiert transportieren und handhaben kann. © Kuka

Kuka hat mit der Wafer Handling Solution eine Lösung aus einer Hand entwickelt, die Halbleiter-Kassetten automatisiert transportieren und handhaben kann. Die Applikation besteht aus der mobilen Plattform KMR 200 CR mit Mecanum-Rädern, die das omnidirektionale Fahren in jede Richtung ermöglichen. Sensoren an der Plattform nehmen die Umgebung in Echtzeit wahr und vermeiden so Kollisionen. Der zur Mensch-Roboter-Kollaboration fähige LBR iiwa ist auf der Plattform verbaut. Die Sensitivität des Roboters ermöglicht es, die sensiblen Wafer-Kassetten sicher und erschütterungsfrei zu handhaben. Die dritte Komponente der Applikation ist der maßgeschneiderte Greifer. Die Wafer-Handling-Softwarelösung kommt auch von Kuka und fügt sich in das Manufacturing Execution System der Halbleiterproduzenten ein. Der in der Software integrierte Flottenmanager steuert die Transportaufträge. as

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