Lineare Piezo-Nanopositioniersysteme

Hohe Steifigkeit, lange Haltbarkeit

Die linearen Piezo-Nanopositioniertische der QNP-L-Serie von Aerotech haben eine Auflösung im Nanometerbereich, verpackt in einem kompakten und hochsteifen Gehäuse. Durch Verfahrweg- und Feedback-Optionen sind diese Tische geeignet für Anwendungen von der Mikroskopie bis hin zur optischen Ausrichtung. Die linearen Piezo-Tische der QNP-L-Serie besitzen Präzisions-Flexure-Führungen, die unter Verwendung der Finite-Elemente-Analyse optimiert wurden, wodurch eine hohe Steifigkeit und lange Haltbarkeit erreicht wird. Dieses Design ermöglicht außerdem eine Resonanzfrequenz für einen hohen Prozessdurchsatz und schnelle "Closed-Loop"-Reaktionen. Die Konstruktion bietet eine unvergleichliche geometrische Leistung in Bezug auf Geradheit und Winkelfehler bei gleichzeitiger Minimierung der Tischgröße.

Piezo-Tische der QNP-L-Serie für hohe Auflösung und Positionierungsgenauigkeit. (Foto: Aerotech)

Alle Piezo-Tische der QNP-L-Serie verfügen über "Closed-Loop" Einsatzmöglichkeiten unter Verwendung eines einzigartigen kapazitiven Sensors, der eine Positionierungsauflösung im Subnanometerbereich und eine hohe Positionierungsgenauigkeit (Linearität) ermöglicht. Die kapazitiven Sensoren messen direkt die Position des Schlittens, wodurch im Vergleich zum Verfahren mit indirekter Rückmeldungsmetrologie ¿ beispielsweise Rückmeldung mit Dehnungsmessstreifen - eine herausragende Linearität und Positionierungswiederholbarkeit erreicht wird.

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In Kombination mit den Steuerungen und Antrieben der Q-Serie von Aerotech erzielen die Piezo-Nanopositioniertische der QNP-L-Serie eine Positionierungsauflösung, Positionsstabilität (Jitter) im Subnanometerbereich sowie eine hohe Positionierungsbandbreite. Die Aerotech-Softwarepakete Dynamic Controls Toolbox und Motion Designer bieten zahlreiche benutzerfreundliche Werkzeuge wie Learning Control, Harmonic Cancellation und Command Shaping, die eine verbesserte Fehlernachverfolgung und schnelle Zykluszeiten ermöglichen. Die FlashConfig-Funktion von Aerotech ermöglicht eine automatische Parameter- und Kalibrierungsidentifizierung. Der Tisch wird automatisch erkannt und alle Betriebsparameter, einschließlich der Achsenkalibrierungsdaten, werden in die Steuerung geladen, wodurch ein sicherer, präziser und echter "Plug-and-Play"-Betrieb gewährleistet wird. pb

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