Indoor-Fahrzeug

Halbleiter ohne Störung

Adept Technology zeigt erstmals in Europa den Adept SPH-2200 Handler. Dies ist ein autonomes Indoor-Fahrzeug für das Handling von SMIF-Pods und anderen Produkten in der Halbleiterproduktion. Der Adept SPH-2200 ist durch seine Wendigkeit in schmalen Gängen und beengten Umgebungen die geeignete Lösung im Bereich der Halbleiterautomation, ohne dabei den täglichen Anlagen- und Wartungsbetrieb zu stören.

Er benötigt keine zusätzliche Infrastruktur. Der Handler ist entwickelt worden, um SMIF-Pods aus einer Vielzahl von Stationen samt inklusive Verarbeitungsanlagen, Beschickungsvorrichtungen und Lagerregalen auszutauschen. Durch die Integration der Adept Enterprise Manager Software können die SMIF-Pod-Aufträge für die Fahrzeuge direkt aus der Produktionssoftware generiert werden. Der Adept SPH-2200 steigert die Effizienz in der Produktion durch den automatisierten Transport und das eigenständige Platzieren der SMIF-Pods durch die Handler, bei gleichzeitiger Reduzierung der Erschütterungen und damit auch der Reduzierung der Partikel im Reinraum.  bw

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