Luftlagertisch

Dynamische Positionierung

Aerotech präsentiert mit dem Planar HDX eine planare Luftlagerplattform, die unter Verwendung einer FEM-optimierten Siliciumcarbidkonstruktion und optimierter Luftlager-Kompensationsverfahren entwickelt wurde.

Aerotech präsentiert mit dem Planar HDX eine planare Luftlagerplattform, die unter Verwendung einer FEM-optimierten Siliciumcarbidkonstruktion und optimierter Luftlager-Kompensationsverfahren entwickelt wurde.

Daraus ergibt sich eine höchstmögliche Dynamik bei Erhaltung der geometrischen Eigenschaften und der Positionierungsgenauigkeit. Die konstruktiven Elemente des Tischs unter Verwendung einer Siliciumcarbidkeramik ermöglicht eine fünf Mal höhere Steifigkeit (Widerstandsmoment pro Dichte) als Aluminium und einen um rund fünf Mal niedrigeren thermischen Ausdehnungskoeffizienten. Das resultierende Material sowie die FEM-optimierte Konstruktion lassen eine Geschwindigkeit von 1,5 Meter pro Sekunde und eine Spitzenbeschleunigung von fünf g bei einer Last von 20 Kilogramm zu. Dadurch wird ein extrem hoher Durchsatz erzielt, ohne Abstriche bei der dynamischen Nachverfolgung, den geometrischen Eigenschaften und der thermischen Stabilität.

Steuerungsfunktionen wie automatische Anpassung der Reglerparameter und die iterativ lernende Steuerung und Harmonic Cancellation stehen für eine einfache, schnelle und effiziente Optimierung der Anwenderinstallation zur Verfügung. Die Option ETM (Enhanced Throughput Module) von Aerotech unterstützt die Verbesserung der Positionierung von hochdynamischen Bewegungssystemen, indem die unerwünschte Bewegung des Maschinensockels direkt gemessen und kompensiert wird. pb

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