Sauerstoffsensormodul

Sensibler Schnüffler

Mit neuen Materialien und Mikrosystemtechnik entwickelte ABB einen massenproduzierbaren Sauerstoffsensor. Er basiert auf einer bewährten Messmethode, seine Komponenten werden jedoch mit Mikrofertigungstechnologie hergestellt. So gelang es, einen Silizium-Chip zu entwickeln, der sich in großen Stückzahlen mit hoher Reproduzierbarkeit herstellen lässt. Die Übertragung eines komplexen, dreidimensionalen Messaufbaus in einen planaren Silizium-Chip war die Schlüsselentscheidung. Durch die Miniaturisierung wird beispielsweise das Sensorvolumen auf ein Sechzigstel reduziert. Somit kann das Gasvolumen viel schneller ausgetauscht werden und die Antwortzeiten des Sensors lassen sich bis etwa eine Sekunde reduzieren. Die planare Bauform des Sensor-Chips vereinfacht zusätzlich den Aufbau der Sensorzelle, die den Chip umgibt. Der erste Einsatz ist für schnelle Messungen an Motorprüfständen vorgesehen. Weitere typische Einsatzbereiche wären beispielsweise die Emissionsmessung in Kraftwerken oder Raumluft-Überwachung in Lagerhäusern. gm

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