Piezo-Z-Antriebe

Ganz genau

Piezoantriebe für die Fokus- Justierung in der Mikroskopie
Piezo-Z-Antriebe mit Verfahrwegen von 0,1 bis 0,5 Millimeter passen ohne Adapter in die XY-Scanner der Firma Märzhäuser. (Foto: PI)
Für Objektiv, Objektivrevolver oder Probenhalter eignen sich Piezoantriebe für die Fokus-Justierung.




In der Mikroskopie und bei der Oberflächeninspektion ist häufig eine dynamische und präzise Fokus-Justierung in Richtung der optischen Achse erforderlich, zum Beispiel bei der Autofokussierung auf die Topografie der Oberfläche oder auf unterschiedliche Brennebenen zur computerunterstützten Darstellung dreidimensionaler Strukturen. Piezo-Z-Antriebe für Objektive, Objektivrevolver oder Probenhalter positionieren innerhalb weniger Millisekunden auf wenige Nanometer genau und lassen sich vergleichsweise einfach in die Anwendung integrieren.

Speziell für die Fokus-Feinjustierung hat die Karlsruher Firma Physik Instrumente (PI) Piezoantriebe im Programm, die sich flexibel an unterschiedliche Anforderungen anpassen. Direkt am Objektiv montiert können sie beispielsweise beim Screening die Brennebenen anpassen, etwa um Differenzen beim Füllstand von Proben auszugleichen. Zeitkritische Testreihen und hohe Durchsatzraten sind dabei aufgrund der dynamischen Fähigkeiten des Piezoantriebs kein Problem. Weitere Anwendungen gibt es bei der dreidimensionalen Bilderzeugung: PIFOC-Z-Antriebe für das Objektiv können sehr klein und steif gebaut werden. Sie reagieren dadurch mit kurzen Ansprechzeiten und positionieren durch die gute Führung auch bei verhältnismäßig großen Verfahrwegen sehr genau. Für Anwendungen, bei denen nicht das Objektiv, sondern die Probe bewegt wird, zum Beispiel bei der Phasenkontrast-Mikroskopie (DIC), gibt es ebenfalls geeignete Piezo-Z-Antriebe. Dank ihrer Kompaktheit lassen sie sich meist direkt in den bereits vorhandenen XY-Probenscanner integrieren. PR/pb

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