Kapazitive Positionssensoren

Nanometergenau!

Kapazitive Positionssensoren von Physik Instrumente messen zuverlässig kleinste Abstände, indem sie die Kapazitätsänderung zwischen der Oberfläche des Sensorkopfs und einer Targetfläche bei homogenem elektrischen Feld erfassen. Dabei werden Genauigkeiten im Sub-Nanometerbereich erreicht. Anwendung findet die hochauflösende Abstandsmessung zum Beispiel in der Vinrationsmessung, in der Erfassung von Schichtdicken oder in der Nanostelltechnik. Kapazitive Zweiplatten-Sensoren messen hier direkt Abstand und Ist-Position des bewegten Objekts mit allerhöchster Präzision. Durch die hohe Bandbreite der Sensoren ist die Regelung auch im dynamischen Betrieb möglich. Für Mehrachs-Nanopositionieraufgaben werden hochgenaue Versteller mit kapazitiven Sensoren kombiniert. Beim Einsatz in Mehrachs-Positioniersystemen können somit alle Freiheitsgrade gleichzeitig gemessen und Führungsfehler aktiv eliminiert werden. Kapazitive Sensoren sind hier die genauesten Messsysteme für beste Positionsauflösung. Die Messbereiche der Sensoren liegen im Allgemeinen zwischen 10 und 500 Mikrometern. Das verschleißfreie Verfahren weist eine hohe Langzeit- und Temperaturstabilität auf und kann bis zehn Kilohertz Bandbreite eingesetzt werden. ho

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