Luftlager-Gantry

Liegt auf Luft

Feinmess Dresden hat gemeinsam mit 3D-Micromac in Chemnitz ein luftgelagertes XY-Achsensystem mit großen Verfahrwegen entwickelt. Basis ist ein Granitgantry. Für die X-Achse mit 1.600 Millimeter Verfahrweg werden vorgespannte Luftlager verwendet, wodurch Ebenheitsabweichungen von weniger als ein Mikrometer über 100 Millimeter Verfahrweg erreicht werden. Als Y-Achse dient der Standardlineartisch PMT320-1150-EDLM mit 1.150 Millimeter Verfahrweg. Die starke Motorisierung mit Tecnotion-Servo-Linearmotoren verleiht beiden Achsen eine Beschleunigung bis zu fünf g bei einer Geschwindigkeit bis zwei Meter pro Sekunde. Die Positioniergenauigkeit liegt bei weniger als zehn Mikrometer ohne Fehlerkorrektur. Der Hauptanwendungsbereich ist unter anderem die Laserbearbeitung von Solarpanels (Dünnschicht) oder anderen flachen Objekten. pb

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