Linearführungen

Die Dynamik steigt

Anlagen der Halbleiterindustrie arbeiten mit Taktzeiten von einer Sekunde und weniger. Deshalb wird von den Pick-and-Place-Einheiten hohe Dynamik verlangt. NSK hat im Auftrag eines Herstellers von Bestückungsanlagen einen vorhandenen Linearmotor durch eine Kombination von Kugelgewindetrieb und Miniatur-Linearführung ersetzt.

Die Miniaturführungen der Serie PU wurden für anspruchsvolle Anwendungen unter anderem in Geräten der Medizintechnik und der Halbleiterfertigung entwickelt. (Bild: NSK)

Hierdurch ließ sich die Dynamik steigern. Miniatur-Linearführungen der Serie PU wurden für anspruchsvolle Anwendungen zum Beispiel in Geräten der Medizintechnik oder eben in der Halbleiterindustrie entwickelt. Konstante Reibungsverhältnisse ermöglichen eine gleichförmige Bewegung. Eine verbesserte Dichtung verhindert, dass Abrieb in die Umgebung gelangt. Damit eignet sich die Baureihe – die Verwendung eines entsprechenden Schmierstoffs vorausgesetzt – auch für Reinraum-Anwendungen. Eine weitere positive Eigenschaft ist das geringe Gewicht, was bei hochdynamischen Einsätzen wichtig ist: Die Führung verfährt mit einer Geschwindigkeit von 2,5 Meter pro Sekunde und einer Beschleunigung von 40 g. Dabei wird ein Hub von 40 Millimeter ausgeführt. pb

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