Motion Control

Hochexakte Kontrolle

Industrielle Motion-Control-Lösungen etwa für Positionier- und Handlinganwendungen müssen viele Anforderungen erfüllen: Sicherheit, Vernetzbarkeit, Genauigkeit im Mikrometerbereich, Reproduzierbarkeit, Robustheit, Schnelligkeit, hohe Durchsatzraten.

Dieser Tisch trägt Lasten bis 15 Kilogramm, die er mit einer Genauigkeit ab plus/minus 15 Nanometer positionieren kann. (Foto: PI)

Dabei hängt die Leistungsfähigkeit der Positioniersysteme nicht nur von Mechanik und Antriebstechnik ab, sondern auch von deren Ansteuerung. Nach der Übernahme von ACS Motion Control, Hersteller von modularen Motion Controllern für mehrachsige Antriebssysteme, kann Physik Instrumente (PI) als Lösungsanbieter für Antriebstechnik und Positioniersysteme jetzt auch industrielle Anwendungen mit maßgeschneiderten Komplettsystemen bedienen, die sich in unterschiedliche Automatisierungsumgebungen integrieren lassen.

Anwendungsbereiche, die Genauigkeit und Produktivität miteinander verbinden, sind zum Beispiel die Halbleiterfertigung, die präzise Materialbearbeitung, Inspektionssysteme, Montageanwendungen sowie Digitaldruck. Für die Wafer-Inspektion beispielsweise bietet PI einen luftgelagerten zweiachsigen Lineartisch mit einer Geradheit/Ebenheit von 0,25 Mikrometer über den gesamten Stellweg von 300 Millimeter. Zur exakten rechtwinkligen Ausrichtung regelt der Motion Controller das Gieren der Achsen über die X-Achse. Schwingungen werden über den sogenannten Profile-Shaping-Algorithmus ebenfalls vom Controller aktiv gedämpft.

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Der von magnetischen Direktantrieben bewegte luftgelagerte Planartisch ist modular aufgebaut – die Hübe sind somit skalierbar, und je nach erforderlicher Positioniergenauigkeit lassen sich unterschiedliche Encoder einbauen. Der Tisch trägt Lasten bis 15 Kilogramm, die er mit einer Genauigkeit ab plus/minus 15 Nanometer positionieren kann. Dabei sorgt die Luftlagerung für ebene Bewegungen und lange Lebensdauer. Über die Ethercat-Schnittstelle des Controllers lässt sich das Positioniersystem einfach in eine übergeordnete Automatisierungsumgebung integrieren. pb

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