Piezo-Positioniertisch

Macht kleinste Schritte

Der Piezo-Nanopositioniertisch QFocus QF1 von Aerotech bietet Mikroskopobjektiv- und Optikpositionierung mit Präzision auf Nanoebene bei hohen Geschwindigkeiten. Der QF1 hat einen hochgenauen kapazitiven Sensor und eine hohe strukturelle Steifigkeit.

Piezo-Nanopositioniertisch QFocus QF1

Er eignet sich für anspruchsvolle Scananwendungen, Mikroskopie und sämtliche optische Anwendungsbereiche, die Genauigkeit und hohen Durchsatz erfordern. Der QF1 wird von Präzisionsflexuren geführt, die mit der Finite-Element-Analyse optimiert wurden. Die Konstruktion bietet eine bemerkenswerte Steifigkeit und Resonanzfrequenz, wodurch ein hoher Prozessdurchsatz und eine schnelle Reaktion bei Closed-Loop ermöglicht werden. Außerdem hat der Hersteller den QF1 auf hervorragende geometrische Performance – Geradheit und Winkelfehler – für anspruchsvolle Anwendungen ausgelegt.

Die Sensoren messen die Ausgabe des Positionierungsschlittens direkt, woraus Präzision und Wiederholbarkeit resultieren. Die Aerotech-Softwarepakete Dynamic Controls Toolbox und Motion Designer bieten Tools wie die Iterativ Lernende Regelung, Harmonic Cancellation und Command Shaping, die einen kleineren Schleppfehler und schnellere Einschwingzeiten ermöglichen. OEM-Antriebsoptionen sind ebenfalls verfügbar.  pb

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