Silizium-Inertialsensoren von First Sensor

Hochgenaue MEMS-Inertialsensoren kundenspezifisch gefertigt

First Sensor hat mit der Serienproduktion seiner hochgenauen kapazitiven Silizium-Inertialsensoren begonnen.

Die Sensoren zur Messung von Neigung, Beschleunigung und Vibration bestehen aus einem Silizium-Sensorelement in Verbindung mit einer Asic-Signalverarbeitung in einem hermetisch abgeschlossenen SMD-Gehäuse. (Bild: First Sensor)

Die Sensoren zur Messung von Neigung, Beschleunigung und Vibration bestehen aus einem nach patentierten mikromechanischen Verfahren (Harms, Aim) hergestellten Silizium-Sensorelement in Verbindung mit einer Asic-Signalverarbeitung in einem hermetisch abgeschlossenen SMD-Gehäuse. Die Inertialsensoren erreichen je nach Bandbreite Auflösungen von 10 µg und können sowohl mechanisch als auch elektrisch auf die jeweilige Kundenanwendung angepasst werden. Zusätzlich stehen Evaluation-Kits für die einfache und schnelle Auswertung und Konfiguration der Sensoren zur Verfügung.

Die einkristallinen Silizium-Mikrostrukturen mit großem Aspektverhältnis (Harms) gewährleisten laut Herstellerinformationen geringste Querempfindlichkeiten, große Signal-Rausch-Abstände und Temperaturstabilität. Zusätzlich minimiert die patentierte Aim-Technologie (Air gap Insulated Microstructures) parasitäre Kapazitäten durch die Isolation der Komponenten mit Hilfe eines Luftspalts. Die Neigungssensoren mit Messbereichen von plus/minus 30 Grad erreichen dadurch eine Rauschdichte kleiner 0,0004°/√Hz und Auflösungen kleiner 0,0015 Grad bei einer Messfrequenz von 10 Hertz. Die Beschleunigungssensoren bieten Messbereiche von plus/minus 3 g, 8 g sowie 15 g und erreichen eine Rauschdichte kleiner 30 µg/√Hz und Auflösungen kleiner 40 bis 95 µg bei einer Messfrequenz von 10 Hertz.

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First Sensors Neigungs- und Beschleunigungssensoren kommen in der Industrie, Gebäudetechnik, Luftfahrt und Medizintechnik zum Einsatz. Typische Anwendungen sind Geo-Engineering, Zustandsüberwachung, Navigation, Robotik sowie Systeme zur Ausrichtung, Positionierung und Nivellierung. as

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