Wafer-Chucks

Wie mit Samthandschuhen

Elektronische Geräte werden immer kleiner, Funktionen umfangreicher. Das stellt hohe Anforderungen an die Fertigungstechniken der Halbleiterindustrie, die mit aufwendigen Dünnungstechniken diesen Trend fortsetzt. Extrem ausgedünnte Wafer erfordern jedoch spezielle Handhabungstechniken, um Beschädigungen, etwa Waferbruch, zu vermeiden. Witte in Bleckede, Hersteller unterschiedlicher Vakuumspannsysteme, konzipiert, konstruiert und fertigt seit mehreren Jahren Wafer-Chucks für die Halbleiterindustrie. Auf diesen Vakuum-Chucks werden die Wafer beschädigungsfrei gehalten. Die Spannfläche besteht aus einem mikroporösen Material (unter anderem Reinraum Klasse zehn tauglich). Bedingt durch die Mikrostruktur werden sehr dünne Materialien absolut plan und beschädigungsfrei fixiert. Es können Ebenheiten und Planparallelitäten von weniger als fünf Mikrometer erreicht werden. Anschlag-Pins, die aus der Platte herausgezogen werden können, erleichtern das Platzieren der Wafer innerhalb des erforderlichen Spannbereichs. Das Abdecken freier Oberflächen, das bei vielen Vakuum-Systemen unbedingt erforderlich ist, ist hierbei nicht nötig. Nach erfolgter Prüfung werden die Wafer durch druckluftgesteuerte Lifting-Pins mit integrierter Bremsmechanik sanft angehoben und lassen sich mit einem Endeffektor entnehmen. pb

Anzeige
Anzeige

Das könnte Sie auch interessieren

Anzeige

Vakuumstandfuß

Mobile Basis

Der Vakuumfuß für Messarme und Messgeräte von Witte ist in der Qualitätssicherung eingesetzt. Dieser autark einsetzbare Vakuumfuß mit integriertem Vakuumerzeuger und Steuerelementen bietet den Messarmen eine solide Basis am Einsatzort.

mehr...

Handhabungstechnik

Greifer vor Schwingungen schützen

Greifersysteme sind Teil der hochdynamischen Robotersysteme, gleichzeitig sind Greifer steif und gewichtsoptimiert zu konstruieren. Für das Vermeiden von Schwingungen und damit für den zuverlässigen Betrieb eines Greifersystems sind Krafteinwirkung...

mehr...

Greifertechnik

Das Chamäleon unter den Greifern

Bionischer Greifer. Das Wirkprinzip des Adaptiven Formgreifers DHEF von Festo folgt der Funktion der Zunge eines Chamäleons. Der Greifer kann Objekte mit unterschiedlichen Formen greifen, sammeln und wieder abgeben, ohne dass ein manueller Umbau...

mehr...
Anzeige

Digitalisierung

Komfortabler konstruieren

Digitalisierungsoffensive für Handlingsysteme. Schunk will den Konstruktions- und Inbetriebnahmeprozess von Handhabungssystemen spürbar verkürzen. Hierzu sind unterschiedliche Tools miteinander verzahnt.

mehr...
Anzeige

Highlight der Woche

Effizienz von Werkzeughilfsmitteln und Vorrichtungen durch den 3D-Druck steigern
Dieses White Paper, zeigt ihnen, dass es oft einen besseren und schnelleren Weg gibt, Werkzeughilfsmittel und Vorrichtungen herzustellen, wodurch Kosten gesenkt und die Effizienz erhöht werden kann.

Zum Highlight der Woche...