Piezo-Nanopositioniersysteme

Verfahren im Kleinsten

Nanopositioniertische der QNP-Z-Serie von Aerotech ergänzen die wachsende Familie der Piezotische der Anbieters, zu denen bereits die linearen QNP-L- und die QNP-XY-Tische gehören.

Nanopositioniertische der QNP-Z-Serie

Die QNP-Z-Serie bietet eine Auflösung, Linearität, Wiederholbarkeit und hohe Dynamik, wie sie für die anspruchsvollsten Anwendungen von der Mikroskopie bis zur optischen Ausrichtung erforderlich sind. Mit einer Auflösung bis 0,15 Nanometer, Linearität bis 0,007 Prozent und Wiederholbarkeit bis ein Nanometer wird eine nanometergenaue Präzision sichergestellt. Dank der hohen Dynamik (Resonanzfrequenz und Steifigkeit) erzielen Benutzer einen hohen Durchsatz in anspruchsvollen Prozessen. Zahlreiche Verfahrwege – von 100 bis 600 Mikrometer – , Feedback-Optionen und Vakuumversionen sind weitere Vorteile dieser Positioniertische. Sie sind mit Präzisions-Flexure-Führungen ausgestattet, die unter Verwendung der Finite-Elemente-Analyse optimiert wurden.

Aus der Konstruktion resultiert große Steifigkeit und hohe Resonanzfrequenz bis 1.050 Hertz, wodurch ein hoher Prozessdurchsatz und schnelle Reaktion bei Closed-Loop ermöglicht wird. Der Hersteller hat diese Tische für eine hervorragende geometrische Performance – Geradheit und Winkelfehler – bei gleichzeitiger Minimierung der Tischgröße entwickelt. In Kombination mit den Steuerungen und Antrieben der Q-Serie von Aerotech erzielt die QNP-Serie eine Positionierungsauflösung, Positionsstabilität (Jitter) und hohe Positionierungsbandbreite im Subnanometerbereich. Softwareoptionen wie Aerotech Dynamic Controls Toolbox und Motion Designer bieten benutzerfreundliche Werkzeuge wie Learning Control, Harmonic Cancellation und Command Shaping für eine bessere Fehlernachverfolgung und schnellere Einschwingzeiten.  pb

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