Positioniersysteme

Dynamisch exakt

Die exakte Nivellierung einer Plattform zur präzisen Ausrichtung von Komponenten ist sowohl in der Halbleitertechnik als auch in der Optik und Lasertechnologie wesentliche Voraussetzung für beste Ergebnisse. Zum einem müssen dabei große Lasten bewegt werden, und zum anderen spielt die Dynamik der Positionierung eine entscheidende Rolle für die Effektivität. Entsprechend diesen Anforderungen wird von Piezosystem Jena eine Piezo-Antriebslösung präsentiert. Der Aktor PU 100 CAP ist bei bei einem Verfahrweg von bis zu 80 Mikrometer in der Lage, eine Last von 25 Kilogramm zu verfahren. Entscheidend ist jedoch die Dynamik der Positionierung. Neue Positionen und Positionskorrekturen können im Bereich von Millisekunden umgesetzt werden. Steuerungssignale von Sensorsystemen, welche die exakte Position der zu nivellierenden Komponente ermitteln, werden sofort durch den Piezoaktor in eine präzise Positionskorrektur umgesetzt. Die Nivellierung erfolgt dank der Piezosteuerungtechnologie praktisch in Echtzeit. Der hohen Auflösung des piezoelektrischen PU 100 CAP Antriebs liegt der Vorteil zugrunde, auch kleinste Änderungen im Bereich von Nanometern präzise ausnivellieren zu können. Positionskorrekturen, die aufgrund thermischer oder schwingungsabhängiger Einflüsse erforderlich werden, können mit höchster Auflösung und Wiederholbarkeit umgesetzt werden.   bw

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