Servo-Planargetriebe

Punkt-zu-Punkt-Positionierer

Der Servo-Planarantriebe von IDAM kombinieren die Vorteile eines Direktantriebs mit denen eines luftgelagerten Zwei-Koordinatentischs mit Winkelfeinpositionierung. Sie eignen sich daher besonders für Positionieraufgaben – auch unter Reinraumbedingungen. Der hochdynamische Zwei-Koordinatenantrieb wird in drei Koordinaten geregelt: Drei interne magnetische Messköpfe stellen die Positionsinformationen zur Verfügung; die Referenzierung erfolgt an der Randbegrenzung über Referenzsensoren. Zu den Vorteilen der verschleißfreien Luftlagerung zählen stets konstante Parameter – auch nach Millionen von Hüben – und stick-slip-freie Bewegungen. Da der Antrieb nach dem Ebenen-Prinzip aufgebaut ist, kann man innerhalb einer Ebene messen, führen und Kraft erzeugen. Eine Closed-Loop-Regelung mit einer Auflösung von unter 0,5 Mikrometer lässt sich ebenfalls realisieren. Je nach Applikation sind Leichtbaustatoren bis zu einer Größe von 950 mal 1.500 Millimeter erhältlich; optional gibt es Anschlussgruppen, welche die Energiezufuhr und den Anschluss von Teilsystemen (Z-Phi-Achsen, Vakuum, Druck) vereinfachen. pe

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