Antriebe und Steuerungen

Piezo-Scanner

Piezosystem Jena bietet eine Piezo-Scanner-Serie mit Abmessungen von nur 60 mal 60 Millimetern und einer Bauhöhe von nur zehn Millimetern an, die einen Stellbereich von 400 Mikrometern bei Sub-Nanometer-Auflösung aufweist. Die ultraflachen Piezoscanner sind flexibel kombinierbar als XY oder auch als Doppel-XX-Antrieb einsetzbar. Trotz der kompakten Abmessungen steht zur Strahl- oder Faserdurchführung ein freier Innendurchmesser von 12,5 Millimetern zur Verfügung. Der Nano X genannte Antrieb bietet eine extreme Führungsgenauigkeit mit typischen Auflösungen von unter 0,6 Nanometern. Die Tragfähigkeit beträgt 100 Newton, und dank der extrem hohen Steifigkeit sind Anstiegszeiten im Mikrosekunden-Bereich möglich. Die Serie kann mit hochauflösenden Sensorsystemen ausgerüstet werden, die eine präzise Positionsüberwachung realisieren. Optional ist auch eine Vakuum- und Tieftemperaturausführung verfügbar.ho

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