Nano-genau

Die Piezosystem Jena bietet ein Zwei-Achsen-Piezopositioniersystem mit einer großen Innenöffnung an. Sie misst 100 mal 100 Millimeter wurde für die Implementierung an Mikroskopen und Belichtungssystemen konzipiert. Bei einer Bauhöhe von nur 15 Millimeter und Außenabmessungen von 185 mal 185 Millimeter beträgt der Hub je Achse 700 Mikrometer. Die Serie PXY AP wurde zum schnellen und präzisen Positionieren optischer und mechanischer Komponenten entwickelt. Die Systeme wurden speziell für eine extrem hohe Z-Achsensteifigkeit optimiert. Die spezielle Aktor-Parallelkinematik ermöglicht eine bestmögliche Führungsgenauigkeit. Die Antriebselemente im monolithischen Festkörpergelenksystem erzeugen eine spielfreie Bewegung. Das Überschwingverhalten wird durch steuerbare Zu- und Rückstellkräfte aktiv minimiert. Definierte Positionen können auch unter Volllast mit Nanometergenauigkeit in Millisekunden angefahren werden, was besonders für Highspeed-Scans ein wesentliches Kriterium ist. In Kombination mit der hochauflösenden kapazitiven Direktmetrologie aus dem gleichen Haus wird im geregelten Betrieb Positionsgenauigkeit, Stabilität, Linearität und Reproduzierbarkeit ermöglicht. Die digitalen Verstärker machen zusätzlich vor Ort ein dynamisches Einstellen der PID-Regelparameter, der Anstiegsbegrenzung und der Kerbfilterbandbreite möglich. Mittels integriertem Wobblegenerator können mechanische Resonanzen ermittelt werden, um diese über die Kerbfilteranpassung aus dem Steuersignal zu eliminieren. Das heißt: Es wird vermieden, den Gesamtaufbau mit seiner Resonanz anzuregen. Dem Anwender ist es somit einfach möglich, das optimale Systemsetup abhängig vom momentanen Belastungsszenario sukzessive durch Versuch und Irrtum im laufenden Betrieb zu ermitteln. bw